日前，国内半导体设备公司至纯科技在互动渠道表明，现在至纯科技28纳米节点悉数湿法工艺设备已认证结束。

  除了28nm工艺节点之外，上海证券陈述中指出，至纯科技14nm及7nm工艺估计2022年可供客户验证，客户包含中芯世界、华虹集团、长鑫存储、华为、台湾力晶等职业领先者。

  2020年至纯科技湿法工艺设备出货量超越30台，新增订单5.3亿元，增加211.8%。

  “湿法工艺设备”在晶圆制作产线大多数都用在有用清洗晶圆外表的颗粒、金属离子以及一些氧化层等等，在最大极限上去除晶圆上的杂质。一般的清洗原理大致上能够分为干式以及湿式两种，因为湿式的全体工作效率更好，因而国内超越百分90%的产线均选用湿法设备。

  至纯科技表明，国内现在有三家在湿法工艺设备端供给中高阶湿法制程设备，分别是至纯科技、北方华创和盛美半导体，国内厂商的商场占比在逐年上升中。

  一同，国内大型晶圆厂的新fab现已连续批量收购本乡厂商的刻蚀、清洗等工艺设备。

  据投标网计算，2020年长江存储公挖掘投标设备1512台，其间北方华创算计中标50台，包含成膜设备4台，刻蚀设备12台，退火设备30台，氧化设备1台，炉管1台；盛美半导体算计中标11台清洗设备。

  2020年华虹无锡12寸厂算计收购267台半导体设备，其间北方华创中标线台设备，盛美半导体中标15台清洗设备。

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